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先進薄膜與微結構表面力學性能測試系統，用于顯示材料表面各種材質薄膜的力學性能測試，以及膜層間結合力測試。設備還可搭配溫度、氣氛控制器，實現多樣化測試。

大樣品、全探針閉環掃描的低噪聲和低熱漂移原子力顯微鏡系統，可用于石墨烯等材料及器件的形貌、電學、電化學、力學、熱學等性質測量。設備的大樣品臺空間可提供外加磁場、光場、探針臺、拉曼、拉伸臺等多場耦合測試。可用于LTPS、OLED、Micron-LED等的表面和微納結構測量。

全自動三維形貌測量平臺，采用非接觸干涉原理精確測量樣品表面三維形貌，獲得粗糙度、關鍵尺寸：如Photo Spacer的直徑和高度以及蒸鍍和噴墨打印OLED膜層厚度等數據，也可用于表面缺陷的觀測。獲得的結果準確、可重復、可溯源。