展商精選丨晶洲裝備，高端濕制程裝備工藝推動新型顯示供應鏈建設
2023-07-06 14:12:13
公司簡介
蘇州晶洲裝備科技有限公司（展位號：特5F18）2011年成立于蘇州常熟高新技術產業開發區辛莊工業園，業務范圍集研發、設計、制造、銷售及售后為一體，專注于平板顯示、光伏、半導體領域的高精密清洗、顯影、濕法刻蝕、光阻剝離等高端濕制程設備的生產及研發，并同步延伸相配套的環保及智能數據，如廢液在線回收系統、機器人運用等關鍵自動化系統，是一家具備高新技術企業資質的高端濕制程裝備及工藝技術綜合解決方案提供商。
推薦產品
蘇州晶洲裝備科技有限公司以國際視野、國產裝備為企業口號，在平板顯示領域，從清洗、顯影、刻蝕，到剝離、蒸鍍前清洗，提供了切實有效的解決方案，以G8.5濕法刻蝕設備為代表，研發出清洗機、顯影機、濕法刻蝕機、光阻剝離機、掩模版清洗機等一系列濕制程主工藝設備。
| 項目 | 晶洲產品 | 進口裝備 |
| 刻蝕速率均一性 | ≥92% | ≥90% |
| 刻蝕線寬均一性 | ≥92% | ≥90% |
| 線寬誤差 | ±0.8μm | ±0.8μm |
顯影機
5.Low Running Cost.
濕法刻蝕機Wet Etcher
濕法蝕刻機
適用工藝：ITO、IGZO、Ag、Mo、Al、Cu、Rework……
適用基板尺寸：All Size
適用基板厚度：≥0.3mm
刻蝕類型：Multi-angle Oscilation Type Shower / Dip
設備類型：I Type，U Type，Line Type，Custom Made
工藝能力：
1.Within Glass、Glass To Glass、Lot To Lot；
2.No Mura, No Roller Mark, No Contamination and No Scratch；
3.CD Uniformity；
4.CD Loss；
5.Low Running Cost.
光阻剝離機Stripper
光阻剝離機
適用工藝：Array，OLED，Rework
適用基板尺寸：All Size
適用基板厚度：≥0.3mm
剝膜類型：Cascade Type Strip Shower
設備類型：I Type，U Type，Line Type，Custom Made
工藝能力：
1.No PR, Chemical, Water Residue；
2.No Corrosion；
3.ESD Control；
4.No Mura, No Roller Mark, No Contamination And No Scratch；
掩膜版清洗機
清洗質量：無mura、水痕、銹斑、臟污，無損傷
平坦度：百微米級
Total Pitch變化：微米級
Defect數量：10ea
搬送重復精度：毫米級
溫度穩定性：±1°（60°以內）
超聲波：
4波段復頻超聲波，頻率可自由切換
