DIC 2024展商丨盛劍環(huán)境,高科技產(chǎn)業(yè)知名綠色科技服務(wù)商
2024-04-29 00:00:00
公司簡介
COMPANY
一上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技股份有限公司一
推薦產(chǎn)品 PRODUCT
廢氣處理裝置 Local Scrubber Local Scrubber是為集成電路、半導(dǎo)體顯示、新能源等行業(yè)工藝制程中所產(chǎn)生的有毒有害副產(chǎn)物提供一個高效的氣體處理裝置,針對不同工藝副產(chǎn)物的化學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì)選用不同形式的處理方式 。 干式真空泵 Vacuum Pump 干式真空泵是指不使用油或液體進行密封的非接觸式真空泵。這種泵不會發(fā)生水和油的倒流和擴散,能夠獲得潔凈的真空環(huán)境。并且無需補充或更換水、油等定期維護作業(yè),方便使用。 溫控設(shè)備 Chiller 溫控設(shè)備 (Chiller) 主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制 , 主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡循環(huán)裝置。 光刻膠剝離液 剝離光刻膠效果好,對其它膜層無腐蝕,安全環(huán)保,回收率高。 蝕刻液 可蝕刻 Cu/Ag/Al/Mo/Nb/Ti 等膜層,選擇比高。 ① Cu蝕刻液:一劑型 / 兩劑型 壽命高、安全穩(wěn)定; ② Ag蝕刻液:磷酸系 / 非磷酸系、ITO/Ag/ITO一步刻蝕、無Al側(cè)刻。