News | 維信諾兩條G6全柔AMOLED產線將點亮;ASML基本完成1nm光刻機設計;凱盛科技擬建超薄柔性玻璃產線
2020-12-02 10:58:47
維信諾兩條G6全柔AMOLED產線將于本月點亮
維信諾官方微信今日公布，維信諾（合肥）G6全柔AMOLED生產線點亮儀式暨維信諾創新大會將于12月7日在合肥舉行。
另外，廣州首條全柔AMOLED模組生產線將于下月在廣州試投產，穗產第一塊此類柔性曲面屏幕，有望在12月18日點亮。
柔性模組技術是柔性顯示產業鏈的重要一環，也是屏幕廠商提升產品效能的關鍵，該項目計劃總投資112億元，規劃年產能將達5000萬片，對正在打造“世界顯示之都”的廣州意義重大。
這塊屏幕產自位于廣州市增城區的維信諾科技股份有限公司第6代柔性AMOLED模組生產線，總部在北京的維信諾是中國大陸第一家OLED產品供應商，上述生產線2019年落戶廣州。
“公司計劃12月18日舉行首塊屏幕點亮儀式，2021年1月量產。”該公司政務經理吳秀麗透露，“項目2020年3月拿地，8月封頂，12月即試投產，廣州‘當年拿地、當年開工、當年竣工、當年試產’的‘放管服’改革舉措大大提高了企業搶占市場的效率。”
ASML（阿斯麥）已基本完成1nm光刻機設計 計劃在2022年商用
摩爾定律還沒有結束。日媒報道，由于新型冠狀病毒的傳播，近期日本ITF于11月18日在日本東京舉行了網上發布會。IMEC公司首席執行官兼總裁Luc Van den hove首先發表了主題演講，介紹了公司研究概況，他強調通過與ASML公司緊密合作，將下一代高分辨率EUV光刻技術——高NA EUV光刻技術商業化。IMEC公司強調，將繼續把工藝規模縮小到1nm及以下。
包括日本在內的許多半導體公司相繼退出了工藝小型化，聲稱摩爾定律已經走到了盡頭，或者說成本太高，無利可圖。
在日本眾多光刻工具廠商紛紛退出EUV光刻開發階段的同時，半導體研究機構IMEC和ASML一直在合作開發EUV光刻技術，而EUV光刻技術對于超細鱗片來說至關重要。
IMEC發布低至1nm及以上的邏輯器件路線圖
在ITF Japan 2020上，IMEC提出了3nm、2nm、1.5nm以及1nm以下的邏輯器件小型化路線圖。
▲IMEC的邏輯器件小型化路線圖
上行技術節點名稱下標注的PP為多晶硅互連線的節距（nm），MP為精細金屬的布線節距（nm）。需要注意的是，過去的技術節點指的是最小加工尺寸或柵極長度，現在只是“標簽”，并不指某一位置的物理長度。
這里介紹的結構和材料，如BPR、CFET和使用二維材料的通道等，已經單獨發表。
EUV的高NA對進一步小型化至關重要
據臺積電和三星電子介紹，從7nm工藝開始，部分工藝已經推出了NA=0.33的EUV光刻設備，5nm工藝也實現了頻率的提高，但對于2nm以后的超精細工藝，需要實現更高的分辨率和更高的光刻設備NA（NA=0.55）。
▲符合邏輯器件工藝小型化的EUV光刻系統技術路線圖
據IMEC介紹，ASML已經完成了作為NXE:5000系列的高NA EUV曝光系統的基本設計，但商業化計劃在2022年左右。這套下一代系統將因其巨大的光學系統而變得非常高大，很有可能頂在傳統潔凈室的天花板下。
▲當前EUV光刻系統（NA=0.33）（正面）與下一代高NA EUV光刻系統（NA=0.55）（背面）的尺寸比較。
ASML過去一直與IMEC緊密合作開發光刻技術，但為了開發使用高NA EUV光刻工具的光刻工藝，在IMEC的園區里成立了新的“IMEC-ASML高NA EUV實驗室”，以促進共同開發和開發使用高NA EUV光刻工具的光刻工藝。該公司還計劃與材料供應商合作開發掩模和抗蝕劑。
Van den hove最后表示：“邏輯器件工藝小型化的目的是降低功耗、提高性能、減少面積、降低成本，也就是通常所說的PPAC。除了這四個目標外，隨著小型化向3nm、2nm、1.5nm，甚至超越1nm，達到亞1nm，我們將努力實現環境友好、適合可持續發展社會的微處理器。”他表示，將繼續致力于工藝小型化，表現出了極大的熱情。
凱盛科技擬新增4981萬元投建UTG超薄柔性玻璃項目
11月30日，凱盛科技發布《關于投資建設超薄柔性玻璃（UTG）一期項目的公告》表示，為緊跟近期柔性和折疊終端發展趨勢以及市場需求，公司擬在現有中試線的基礎上，再新增投資4981萬元，建設超薄柔性玻璃（UTG）一期項目，量產6-8寸30μm—70μm超薄柔性玻璃（UTG）。
項目建成后，將與中試線產能共同形成一定規模，達產后預計將實現收入超 3 億元（產能及售價等涉及商業機密信息，不進行披露）。凱盛科技也將根據未來市場發展需求及時布局后續產能提升計劃。
此外，為加快建設進度，項目擬租用中國玻璃新材料科技產業園內已有的約7000平方米廠房及凈化車間，新購置原片加工、UTG玻璃薄化、成型、邊緣處理、化學強化等全套生產線，與已建成的實驗室和中試線聯通，量產30μm—70μm超薄柔性玻璃（UTG）；項目將在中試線基礎上開展自動化升級和量產工藝提高，以滿足產能和良率提升需求。
據了解，建設項目選址地為安徽省蚌埠市“中國玻璃新材料科技產業園”內，項目新增規模總投資4981萬元，包括建設投資4604萬元，建設期利息77萬元，流動資金300萬元。預計2021年上半年具備供貨能力，待項目建成后預計形成收入超過3億元。
凱盛科技強調，本項目完成后可能會因原材料采購而增加公司的關聯交易，公司將嚴格依據關聯交易審議程序，確保關聯交易價格公允合理，不會損害公司或公司其他股東的利益。本項目不存在同業競爭問題。
